Coventor EM3DS
Coventor EM3DS - система электромагнитного моделирования планарных MEMS. структур. EM3DS (Electromagnetic 3D Solver) представляет собой полнофункциональный набор инструментов, предназначенный для проектирования и анализа квазипланарных объемных структур. Особенностью продукта является то, что сложные многослойные диэлектрические подложки с металлическими слоями ненулевой толщины и неоднородностями в диэлектрике моделируются без упрощений, связанных с особенностями компьютерных вычислений.